T/QGCML 4572-2024 高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范

高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范 (T/QGCML 4572-2024) 团体名称为全国城市工业品贸易中心联合会

主要起草人：罗中平、雷超、赵鹏志。

起草单位：常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司。

内容简要 本文件规定了高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范的术语和定义、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。本文件适用于高精度超洁净晶圆卡爪（以下简称“卡爪”）的生产…