超纯氨 (T/CCGA 30001-2019) 团体名称为中国工业气体工业协会
主要起草人：金向华、许军州、洑春干、魏入铎、庄坤华、宋芳芳
起草单位：苏州金宏气体股份有限公司、中国工业气体工业协会
内容简要 本标准规定了超纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子氮化硅掩蔽…
T/CCGA 30001-2019 超纯氨
标准号
T/CCGA 30001-2019
下载格式
PDF
发布日期
2019-10-29
实施日期
2020-01-29
标准类别
团体标准