7N 光电子级超纯氨 (T/ZZB 1373-2019) 团体名称为浙江省质量协会
主要起草人:本标准主要起草人:陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、 王龙、赵晓兰、陈华燕(排名不分先后)。
起草单位:本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司牵头组织制定。 本标准主要起草单位:海宁市英德赛电子有限公司。 本标准参与起草单位:浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司(排名不分先后)。
内容简要 本标准规定了7N光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。本标准规定的产品氨适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相…