T/ICMTIA 4.2-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类

集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类 (T/ICMTIA 4.2-2020) 团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟

主要起草人：傅志伟、邵严亮、贺宝元、薛春、杨影影

起草单位：徐州博康信息化学品有限公司

范围：本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。

内容简要 本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体第2部分固体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。