T/ICMTIA 5.3-2020 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法

集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法 (T/ICMTIA 5.3-2020) 团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟

主要起草人：许从应、毛智彪、马潇、顾大公、李珊珊

起草单位：宁波南大光电材料有限公司

范围：本文件适用于集成电路用ArF光刻胶。

内容简要 本文件规定了ArF光刻胶的光刻检测要求及方法、检测标准及包装、运输、存储及环保要求。