集成电路用氢氟酸 (T/ICMTIA PC007-2021) 团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟
主要起草人：陈刚、周黎旸、童继红、张学良、贺辉龙、赵晓亚、程文海、朱智敏、蒋梁疏、杨建成、徐建仙
起草单位：中巨芯科技有限公司
内容简要 本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。分子式：HF相对分子质量：20.01（按2014…
T/ICMTIA PC007-2021 集成电路用氢氟酸
标准号
T/ICMTIA PC007-2021
下载格式
PDF
发布日期
2021-05-31
实施日期
2021-07-30
标准类别
团体标准