T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法

多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法 (T/CNIA 0060-2020) 团体名称为中国有色金属工业协会

主要起草人：刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明

起草单位：宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司

内容简要 本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9～1×10-5(v/v)。