半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 (JC/T 2133-2012) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
起草人：陈奕睿、屈海云 等
JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
标准号
JC/T 2133-2012
下载格式
PDF
发布日期
2012-12-28
实施日期
2013-06-01
标准类别
行业标准
半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 (JC/T 2133-2012) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
起草人：陈奕睿、屈海云 等
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