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GB/T 44839-2024 微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

标准号
GB/T 44839-2024
下载格式
PDF
发布日期
2024-10-26
实施日期
2025-02-01
标准类别
国家标准
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简介

微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法 (GB/T 44839-2024) 国家标准《微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准委。

起草单位:中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、上海交通大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、东南大学、苏州慧闻纳米科技有限公司、中关村光电产业协会、工业和信息化部电子第五研究所、昆山双桥传感器测控技术有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、深圳市道格特科技有限公司。

起草人:周维虎 、李根梓 、孙宏霖 、刘胜 、霍树春 、高成臣 、刘景全 、陈立国 、杨剑宏 、陈志文 、焦斌斌 、黄庆安 、聂萌 、张平平 、陈晓梅 、卢永红 、陈思 、王冰 、谢红梅 、刘志广 。

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