洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用 (GB/T 25915.17-2024) 国家标准《洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准委。
起草单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心、苏州安泰空气技术有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、中国标准化协会、上海尚远建设工程有限公司、中国电子工程设计院股份有限公司、中国科学院大气物理研究所、烟台宝源净化有限公司、北京戴纳实验科技有限公司、广州保瑞医疗技术有限公司、谱尼测试集团股份有限公司、上海市室内环境净化行业协会、仲恺农业工程学院、科锐特(厦门)净化科技有限公司、杭州捷瑞智能装备股份有限公司、惠特科学技术有限公司、朗恒科技集团有限公司、新拓洋生物工程有限公司。
起草人:苗心向 、袁晓东 、王天羿 、孙扬 、郝胤博 、吴志坚 、惠旅锋 、陆晶 、丁禹龙 、高怡婷 、奚晓鹏 、杨云涛 、王芳 、贺乐凯 、丁力行 、高正 、魏兰 、山香菊 、张长安 、胡思伟 、黄狄文 、张建国 、李华新 、危勇华 、奚光明 。
作为污染控制计划的一部分,该标准对洁净室易损表面上粒子沉积速率(PDR)测量结果的解释和应用提供了指导。提供了PDR的影响因素和降低易损表面上粒子污染风险的说明。该标准提供了洁净室测量PDR来确定易损表面上大粒子的可接受浓度限值和风险评估方法,能确定粒子沉积到易损表面的可接受风险。当风险不可接受时,则需要采取洁净控制措施来降低PDR。粒子遮蔽速率(POR)是一种替代PDR的方法,其定义为粒子在表面上随时间增加的覆盖率。POR的使用方式与PDR类似,也用于计算指定表面所需的POR,以降低沉积粒子的风险。该标准:——不提供根据PDR或POR对洁净室的分级方法;——不直接考虑沉积的携带微生物粒子的活性;——不考虑通过接触产生的表面沉积,例如人员触摸产品导致的污染。