半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法 (GB/T 42676-2023) 国家标准《半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、北京通美晶体技术股份有限公司、山东有研半导体材料有限公司、弘元新材料（包头）有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、国标（北京）检验认证有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、江苏卓远半导体有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司。
起草人：何烜坤 、刘立娜 、李素青 、庞越 、马春喜 、许蓉 、任殿胜 、王元立 、朱晓彤 、李向宇 、杨阳 、潘金平 、王书明 、赵松彬 、林泉 、李国平 、张新峰 、赵丽丽 、夏秋良 。
此标准描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽，进而评价半导体单晶晶体质量的方法。
此标准适用于碳化硅、金刚石、氧化镓等单晶材料晶体质量的测试，硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料晶体质量的测试也可参照此标准执行。