电子特气 六氯乙硅烷 (GB/T 42720-2023) 国家标准《电子特气 六氯乙硅烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
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此标准规定了六氯乙硅烷的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
此标准适用于由生产多晶硅副产的六氯乙硅烷经纯化制备的电子用六氯乙硅烷。