电子特气 三氯化硼 (GB/T 17874-2021) 国家标准《电子特气 三氯化硼》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
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此标准规定了电子级三氯化硼的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
此标准适用于以粗制三氯化硼为原料提纯制得的电子级三氯化硼。