半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分:静电放电(ESD)敏感度测试 机器模型(MM) (GB/T 4937.27-2023) 国家标准《半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分:静电放电(ESD)敏感度测试 机器模型(MM)》由TC78(全国半导体器件标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。
起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所、河北北芯半导体科技有限公司、安徽高芯众科半导体有限公司、武汉格物芯科技有限公司、河北中电科航检测技术服务有限公司、佛山市川东磁电股份有限公司、广东省中绍宣标准化技术研究院有限公司。
起草人:迟雷 、高金环 、高蕾 、辛长林 、彭浩 、张瑞霞 、黄杰 、何黎 、赵鹏 、魏兵 、刘洪刚 、颜天宝 、王介 。
此标准依据半导体器件对规定的机器模型(MM)静电放电(ESD)所造成损伤或退化的敏感度,建立了半导体器件ESD测试和分级的标准程序。此标准相对于人体模型ESD,用作一种可选的测试方法,目的是提供可靠、可重复的ESD测试结果,以此进行准确分级。
此标准适用于半导体器件,属于破坏性试验。
半导体器件的ESD测试从此标准、人体模型(HBM-见GB/T 4937.26)或GB/T 4937系列中的其他测试方法中选择。MM与HBM测试的结果相似但不完全相同。除另有规定外,HBM测试方法为所选方法。