微纳米标准样板（几何量） (GB/T 39516-2020) 国家标准《微纳米标准样板（几何量）》由TC132（全国量具量仪标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量科技有限公司。
起草人：李锁印 、付兴昌 、梁法国 、韩志国 、赵琳 、冯亚南 、许晓青 、张晓东 、姜志刚 、许刚 、苏翼雄 、张恒 、雷李华 、赵军 、张松涛 、蔡潇雨 、傅云霞 。
此标准规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
此标准适用于线间隔为0.05m~10pm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01m~100m的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2nm~1000nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25nm~1000nm的纳米线宽标准样板。