电子级三甲基铟 (GB/T 37030-2018) 国家标准《电子级三甲基铟》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院。
起草人:陈化冰 、孙明璐 、王香 、曹可慰 。
此标准规定了三甲基铟的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
此标准适用于铟镁合金法、三氯化铟法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铟。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式:C3H9In
相对分子质量:159.92(按2013年国际相对原子质量计算)