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GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝

标准号
GB/T 36653-2018
下载格式
PDF
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-01-01
标准类别
国家标准
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简介

电子级三甲基铝 (GB/T 36653-2018) 国家标准《电子级三甲基铝》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院。

起草人:陈化冰 、孙明璐 、王香 、曹可慰 。

此标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。

此标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。

分子式:C3H9Al

相对分子质量:72.09(按2013年国际相对原子质量计算)

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