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GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法

标准号
GB/T 37051-2018
下载格式
PDF
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-04-01
标准类别
国家标准
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简介

太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法 (GB/T 37051-2018) 国家标准《太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:英利集团有限公司、中国电子技术标准化研究院、江西赛维LDK太阳能高科技有限公司、泰州中来光电科技有限公司、晋能清洁能源科技有限公司、镇江仁德新能源科技有限公司、天津英利新能源有限公司。

起草人:李锋 、李英叶 、段青春 、张伟 、吴翠姑 、冯亚彬 、裴会川 、程小娟 、唐骏 。

此标准规定了太阳能级多晶硅锭、硅片的晶体缺陷密度测定方法,包含方法概要、试剂和材料、仪器和设备、试样制备、测试步骤、数据处理、精密度、干扰因素和报告。

此标准适用于太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度的测定。

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