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GB/T 8756-2018 锗晶体缺陷图谱

标准号
GB/T 8756-2018
下载格式
PDF
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-07-01
标准类别
国家标准
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简介

锗晶体缺陷图谱 (GB/T 8756-2018) 国家标准《锗晶体缺陷图谱》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、有研光电新材料有限责任公司、云南中科鑫圆晶体材料有限公司、中锗科技有限公司、广东先导稀材股份有限公司、云南东昌金属加工有限公司、有色金属技术经济研究院。

起草人:普世坤 、惠峰 、董汝昆 、冯德伸 、柯尊斌 、尹士平 、朱刘 、李素青 。

此标准规定了锗多晶、锗单晶制备和机械加工过程中产生的缺陷,给出了各类缺陷的特征、产生原因及消除方法。

此标准适用于区熔锗锭、锗单品、锗研磨片和锗抛光片生产过程中产生的缺陷。

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