硅多晶真空区熔基硼检验方法 (GB/T 4060-2018) 国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所。
起草人：胡伟 、刘晓霞 、耿全荣 、鲁文锋 、王桃霞 、胡自强 、宗冰 、肖建忠 、万烨 、杨旭 。
此标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。
此标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为
0.01X1018cm-3~5X1015cm-3。