磁控溅射用钌靶 (GB/T 34649-2017) 国家标准《磁控溅射用钌靶》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口上报,TC243SC5(全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院。
起草人:罗俊锋 、丁照崇 、李勇军 、向磊 、万小勇 、刘书芹 、熊晓东 、王庄 、贺昕 、滕海涛 、高岩 。
此标准规定了磁控溅射用钌靶的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
此标准适用于微电子领域镀膜用磁控溅射钉靶(以下简称钌靶)。