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T/ZZB 0639-2018 氧化锌铝磁控溅射靶材

标准号
T/ZZB 0639-2018
下载格式
PDF
发布日期
2018-10-19
实施日期
2018-11-01
标准类别
团体标准
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简介

氧化锌铝磁控溅射靶材 (T/ZZB 0639-2018) 团体名称为浙江省质量协会

主要起草人:本标准主要起草人:杨晔、周山山、何伟、兰品军、朱永明、李翔、宋伟杰、李勇、马通达、杨立红、宋云娜、张凤戈、夏黎海。

起草单位:本标准由宁波市标准化研究院牵头组织制定。 本标准主要起草单位:宁波森利电子材料有限公司。 本标准参与起草单位:宁波市标准化研究院、中国科学院宁波材料技术与工程研究所、国标(北京)认证有限公司、汉能装备科技集团有限公司、北京安泰六九新材料科技有限公司、世泰科特种材料(太仓)有限公司(排名不分先后)。

内容简要 本标准规定了氧化锌铝磁控溅射靶材的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺等。本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low-…

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