硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范 (GB/T 32816-2016) 国家标准《硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司。
起草人：张大成 、杨芳 、李海斌 、王玮 、何军 、黄贤 、刘冲 、刘伟 、邹赫麟 、田大宇 、姜博岩 。
此标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。此标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。