半导体器件 微机电器件 MEMS总规范 (GB/T 32817-2016) 国家标准《半导体器件 微机电器件 MEMS总规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理工大学。
起草人：李海斌 、崔波 、刘伟 、石云波 、裘安萍 、施芹 、杨拥军 、刘冲 。
此标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。 此标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（Micro-TAS）和微能源MEMS]。 u3000u3000