氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 (GB/T 32188-2015) 国家标准《氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司。
起草人：邱永鑫 、任国强 、刘争晖 、曾雄辉 、王建峰 、陈小龙 、王文军 、郑红军 、徐科 、赵松彬 。
此标准规定了利用双晶 X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。 此标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。