氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法 (GB/T 32282-2015) 国家标准《氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司。
起草人：曾雄辉 、张燚 、董晓鸣 、牛牧童 、刘争晖 、邱永鑫 、王建峰 、徐科 。
此标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法。 此标准适用于位错密度在110^3 个/cm2~510^8 个/cm2 之间的氮化镓单晶中位错密度的测试。