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GB/T 31469-2015 半导体材料切削液

标准号
GB/T 31469-2015
下载格式
PDF
发布日期
2015-05-15
实施日期
2016-01-01
标准类别
国家标准
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简介

半导体材料切削液 (GB/T 31469-2015) 国家标准《半导体材料切削液》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:扬州华裕光伏材料有限公司、西安飞讯光电有限公司、扬州市职业大学、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院。

起草人:缪德俊 、徐蓉艳 、缪立山 、彭新玲 、丁浩 、郭倩 、蒲学军 。

此标准规定了半导体材料切液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。此标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。

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