半导体材料切削液 (GB/T 31469-2015) 国家标准《半导体材料切削液》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:扬州华裕光伏材料有限公司、西安飞讯光电有限公司、扬州市职业大学、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院。
起草人:缪德俊 、徐蓉艳 、缪立山 、彭新玲 、丁浩 、郭倩 、蒲学军 。
此标准规定了半导体材料切液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。此标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。