半导体材料术语 (GB/T 14264-2009) 国家标准《半导体材料术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所、有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、国瑞电子材料有限责任公司等。
起草人：孙燕 、黄笑容 、向磊 、翟富义 、卢立延 、郑琪等 。
u3000u3000此标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。 u3000u3000此标准适用于元素和化合物半导体材料。