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GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法

标准号
GB/T 29851-2013
下载格式
PDF
发布日期
2013-11-12
实施日期
2014-04-15
标准类别
国家标准
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简介

光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法 (GB/T 29851-2013) 国家标准《光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司。

起草人:何友琴 、马农农 、王东雪 、何秀坤 、裴会川 、冯亚彬等 。

此标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中硼和铝含量的方法。 此标准适用于光伏电池用硅材料中受主杂质硼和铝含量的定量分析,其中硼和铝的浓度均大于1×1013atoms/cm3。其它受主杂质的测量也可参照此标准。

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