光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法 (GB/T 29852-2013) 国家标准《光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司。
起草人：马农农 、何友琴 、王东雪 、何秀坤 、冯亚彬 、裴会川等 。
此标准规定了用二次离子质谱仪（SIMS）测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。 u3000u3000 u3000u3000此标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析，其中磷、砷和锑的浓度均大于1×1014atoms/cm3。