表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定 (GB/T 28632-2012) 国家标准《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心。
起草人：徐建 、陆敏 、吴立敏 、朱丽娜 、辛立辉 、何丹农 、张冰 。
此标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。