表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法 (GB/T 22572-2008) 国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心。
起草人：马农农 、何友琴 、何秀坤 。
此标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，此标准不适用于近表面区域的δ层。