表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法 (GB/T 20175-2006) 国家标准《表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：清华大学电子工程系。
起草人：查良镇 、陈旭 、王光普 、黄雁华 、黄天斌 、刘林等 。
为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，此标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。特殊多层膜系的使用不包括在此标准内。