硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范 (GB/T 28275-2012) 国家标准《硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所、重庆大学、东南大学、中国电子科技集团第四十九研究所、中机生产力促进中心。
起草人：夏伟锋 、熊斌 、冯飞 、戈肖鸿 、周再发 、李玉玲等 。
此标准规定了采用氢氧化钾腐蚀工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求。此标准适用于氮氧化钾腐蚀工艺和管理。