硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范 (GB/T 28276-2012) 国家标准《硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所。
起草人：崔波 、罗蓉 、刘伟 、张大成 、熊斌 、陈海蓉 。
此标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。此标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。