洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇 (GB/T 25915.6-2010) 国家标准《洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位:苏州市洁净室科技促进中心、中国电子学会洁净技术分会、深圳市标准化研究院等。
起草人:王尧 、陈刚 、缪德骅 、涂有 、乐细明等 。
GB/T 25915的本部分给出了洁净室和相关受控环境有关的术语和定义,是本系列标准其他部分 出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了GB/T 25916.1和GB/T 25916.2中的术语和定义。