微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则 (GB/T 26113-2010) 国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院。
起草人：丁红宇 、张苹 、刘伟 、蒋庄德 、景蔚萱等 。
此标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。此标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。