GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 (GB/T 1554-2009) 国家标准《硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：峨嵋半导体材料厂。

起草人：何兰英 、王炎 、张辉坚 、刘阳 。

u3000u3000此标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。