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GB/T 1553-2009 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法

标准号
GB/T 1553-2009
下载格式
PDF
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
标准类别
国家标准
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简介

硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法 (GB/T 1553-2009) 国家标准《硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。已被标准 GB/T 1553-2023(全部代替)

起草单位:峨嵋半导体材料厂。

起草人:江莉 、杨旭 。

u3000u30001.1 此标准规定了硅和锗单晶体内少数载流子寿命的测量方法。此标准适用于非本征硅和锗单晶体内载流子复合过程中非平衡少数载流子寿命的测量。

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