金靶材 (GB/T 23611-2009) 国家标准《金靶材》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口上报,TC243SC5(全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。已被标准 GB/T 23611-2023(全部代替)
起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、北京达博有色金属焊料有限责任公司。
起草人:闫琳 、江轩 、吕保国等 。
此标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。此标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)。