钪铝合金靶材 (XB/T 515-2020) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。
本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域。
XB/T 515-2020 钪铝合金靶材
标准号
XB/T 515-2020
下载格式
PDF
发布日期
2020-12-09
实施日期
2021-04-01
标准类别
行业标准
钪铝合金靶材 (XB/T 515-2020) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。
本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域。
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