GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法 (GB/T 11068-2006) 国家标准《砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：北京有色金属研究总院。

起草人：王彤涵 。

此标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法，适用于砷化镓外延层基体材料中载流子浓度的测量。测量范围：1×10cm～5×10cm。