GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 (GB/T 8758-2006) 国家标准《砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：北京有色金属研究总院。

起草人：王彤涵 。

此标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω?cm，外延层的电阴率大于0.1Ω?cm。