半导体器件 集成电路 第11部分:第1篇:半导体集成电路 内部目检 （不包括混合电路） (GB/T 19403.1-2003) 国家标准《半导体器件 集成电路 第11部分:第1篇:半导体集成电路 内部目检 （不包括混合电路）》由TC78（全国半导体器件标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
起草单位：信息产业部第四研究所。
进行内部目检的目的是检验集成电路的内部材料、结构和工艺，验证与适用的规范要求的一致性。通常应在封帽或密封之前对器件进行100%内部目检。以发现可能导致器件在正常使用时失效的内部缺陷并剔除相应器件。本试验也可按抽样方式在封帽之前使用，以确定承制方对半导体器件质量控制和操作程序的有效性。