砷化镓单晶AB微缺陷检验方法 (GB/T 18032-2000) 国家标准《砷化镓单晶AB微缺陷检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位：北京有色金属研究总院。
此标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷的检验方法。此标准适用于砷化镓单晶AB微缺陷密度（AB－EPD）的检验。检验面为（100）面。测量范围小于 5 X10 cm
GB/T 18032-2000 砷化镓单晶AB微缺陷检验方法
标准号
GB/T 18032-2000
下载格式
PDF
发布日期
2000-04-03
实施日期
2000-09-01
标准类别
国家标准