GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范

光掩模对准标记规范 (GB/T 16524-1996) 国家标准《光掩模对准标记规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：中国科学院微电子中心。

本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。