GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 (GB/T 16527-1996) 国家标准《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：长沙韶光微电子总公司。

此标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。此标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。