GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

硬面光掩模用铬薄膜 (GB/T 15870-1995) 国家标准《硬面光掩模用铬薄膜》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：长沙韶光微电子总公司。

此标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。此标准适用于硬面光掩模用铬薄膜（以下简称铬薄膜）。