GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

硬面光掩模基板 (GB/T 15871-1995) 国家标准《硬面光掩模基板》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位：长沙韶光微电子总公司。

此标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。此标准适用于硬面光掩模用玻璃基板（以下简称基板）。