GB/T 14620-1993 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片

薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 (GB/T 14620-1993) 国家标准《薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。已被标准 GB/T 14620-2013（全部代替）

起草单位：国营七九九厂。

此标准规定了薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片的结构尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。此标准适用于薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片（以下简称基片）。